PVD 도구 코팅 기계

진공 PVD 코팅 장비 시스템은 무엇으로 구성되어 있습니까? 오늘은 간단한 소개를 해드리겠습니다.

(1) 메인 펌프 : 진공 시스템에서 진공 코팅 기계의 오일 확산 펌프와 같은 특정 공정 요구 사항을 충족시키기 위해 필요한 진공도를 얻는 데 사용되는 진공 펌프가 메인 펌프입니다.

(2) 포어라인 펌프: 진공 펌프의 포어라인 압력을 임계 포어라인 압력 이하로 유지하는 데 사용되는 진공 펌프. 예를 들어, 루츠 펌프 앞에 구성된 회전 날개 또는 스풀 밸브 펌프가 배압 펌프입니다.

(3) 러프 펌프: 대기압에서 펌핑을 시작하고 시스템 압력을 다른 진공 펌프로 펌핑하여 작동을 시작하는 진공 펌프. 예를 들어, 진공 코팅기의 슬라이드 밸브 펌프는 원유 펌프입니다.

(4) 유지 보수 펌프 : 진공 시스템에서 공기량이 매우 적고 배압 펌프를 효과적으로 사용할 수 없습니다. 이를 위해 메인 펌프를 유지하기 위해 보다 작은 용량의 보조 펌프를 구성하는데, 이를 메인터넌스 펌프라고 한다. 예를 들어, 유지 보수 펌프인 확산 펌프의 출구에 소형 회전 날개 펌프가 장착되어 있습니다.

사실, 단순한 진공 시스템은 거친 진공만을 얻을 수 있습니다. 고진공이 필요한 경우 고진공 펌프는 일반적으로 진공 시스템에 직렬로 연결됩니다. 예를 들어, 루츠 펌프와 스크류 펌프는 모두 고진공을 얻는 펌프입니다. 고진공 펌프를 직렬로 연결하면 일반적으로 고진공 펌프의 입구와 출구에 밸브를 추가하여 고진공 펌프만 진공 상태를 유지할 수 있습니다. 직렬로 연결된 고진공 펌프가 오일 확산 펌프인 경우, 다량의 오일 증기가 펌핑된 용기로 역류하는 것을 방지하기 위해 일반적으로 오일 확산 펌프의 입구에 트랩인 수냉식 배플(water cooling baffle)이 추가됩니다. . 요구 사항에 따라 집진기, 진공 릴레이 게이지 헤드, 진공 플렉서블 연결 파이프, 진공 펌프 입구 공기 방출 밸브, 라디에이터 등도 파이프라인에 추가하여 비교적 완전한 고진공 시스템을 형성할 수 있습니다.

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