PVD 코팅기

진공 코팅기는 일반적으로 진공 챔버, 진공 장치 및 전기 제어 캐비닛의 세 부분으로 구성됩니다. 이 기계의 작동 원리는 무엇입니까? 오늘 살펴보겠습니다.

1. 진공 본체 - 진공챔버의 크기는 가공제품의 요구사항에 따라 다릅니다. 현재 가장 널리 사용되는 직경은 1.3M, 0.9M, 1.5M, 1.8M 등입니다. 챔버는 스테인리스강으로 만들어집니다. , 녹, 견고 등이 필요하지 않으므로 진공 챔버의 각 부분에는 각 공기 펌프를 연결하는 데 사용되는 연결 밸브가 있습니다.

2. 보조 배기 시스템: 배기 시스템은 주로 기계 펌프, 부스터 펌프 및 오일 확산 펌프의 세 부분으로 구성되는 진공 코팅 기계의 진공 시스템의 중요한 부분입니다. 이 배기 시스템은 "확산 펌프 + 기계식 펌프 + 루트 펌프 + 극저온 콜드 트랩 + 폴리콜드"로 구성됩니다. 배기 프로세스는 다음과 같습니다. 기계식 펌프는 먼저 진공 챔버를 2, 0*10-2PA 미만의 낮은 진공 상태로 배기하며, 이는 확산 펌프의 후속 배기를 위한 전제를 제공합니다. 그런 다음 확산 펌프가 진공 챔버를 비울 때 기계식 펌프는 오일 확산 펌프와 협력하여 직렬로 형성되어 이러한 방식으로 펌핑 동작을 완료합니다.

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