진공 증발 코팅 기술의 도입

진공 코팅기 제조업체의 진공 증착 코팅 기술에는 저항 증착 코팅, 전자빔 증착 코팅, 레이저 빔 증착 코팅, 고주파 유도 가열 증착 코팅 등이 포함됩니다. 다음 표는 여러 증발 코팅 기술의 특성을 나열합니다.

1. 저항 증발 도금: 저항 증발 소스는 금, 은, 황화 아연, 불화 마그네슘, 삼산화 크롬 등과 같은 저융점 물질을 증발시키는 데 사용됩니다. 저항 증발 소스는 일반적으로 텅스텐, 몰리브덴 및 탄탈로 만들어집니다.

2. 전자빔 증발 도금: 전자빔 가열에 의해 필름 재료가 기화 및 증발된 후, 기판 표면에 필름을 응축 및 형성하는 진공 증착 기술에서 중요한 가열 방법이다. 그러한 장치에는 여러 가지 유형이 있습니다. 박막 기술의 광범위한 적용으로 인해 멤브레인의 유형에 대한 요구 사항이 다양할 뿐만 아니라 멤브레인의 품질에 대한 요구 사항도 더욱 엄격해지고 있습니다. 저항 증발은 더 이상 일부 금속 및 비금속의 증발 요구를 충족할 수 없습니다. 전자빔 열원은 저항 열원보다 훨씬 더 큰 에너지 밀도를 얻을 수 있으며 값은 104-109w/cm2에 도달할 수 있으므로 필름을 3000-6000c로 가열할 수 있습니다. 이것은 텅스텐, 몰리브덴, 게르마늄, SiO2, Al2O3 등과 같은 내화 금속 및 비금속 재료를 증발시키기 위한 더 나은 열원을 제공합니다. 또한 증발할 재료가 수냉식 도가니에 놓이기 때문에 증발 용기 재료 및 용기 재료와 필름 재료 사이의 반응을 피할 수 있으며 이는 필름의 순도를 향상시키는 데 매우 중요합니다. 또한 필름 재료의 표면에 직접 열을 가할 수 있어 열효율이 높고 열전도 및 방열 손실이 적습니다.

3. 고주파 유도 가열 증발 도금: 유도 가열 원리를 사용하여 금속을 증발 온도까지 가열합니다. 나선형 코일(비접촉)의 중앙에 필름 재료가 들어 있는 도가니를 놓고 코일에 고주파 전류를 흐르게 하면 금속 필름 재료가 전류를 생성하여 증발할 때까지 스스로 가열할 수 있습니다.

유도 가열 증발원의 특성: 1) 증발 속도가 크다 2) 증발원의 온도가 균일하고 안정적이며 알루미늄 드롭 스플래쉬 현상이 발생하기 쉽지 않음 3) 증발원이 한 번에 충전됨 , 와이어 공급 메커니즘이 필요하지 않으며 온도 제어가 비교적 쉽고 조작이 간단합니다. 4) 필름의 경우 재료 순도 요구 사항이 약간 더 넓습니다.

4. 아크 가열 증발 도금: 전자빔 가열 방식과 유사한 가열 방식이 아크 방전 가열 방식이다. 또한 저항 가열 재료 또는 도가니 재료의 오염을 피하는 특성이 있으며 가열 온도가 높으며 특히 높은 융점 및 특정 전도성을 갖는 내화 금속, 흑연 등의 증발에 적합합니다. 동시에, 이 방법에 사용되는 장비는 전자빔 가열 장치보다 간단하므로 상대적으로 저렴한 증발 장치입니다.

5. Laser beam evaporation plating: The method of using high power density pulsed laser to evaporate the material to form a thin film is generally called laser evaporation