뜨거운 아연 스프레이 기계

열증발 및 열증발 공정

열 증발은 끓기 시작하고 증발하여 증기압을 생성할 때까지 고진공 챔버 내부의 기판을 코팅하는 데 사용할 고체 물질을 가열하는 것을 포함합니다. 진공 증착 챔버 내부에서는 상대적으로 낮은 증기압으로도 증기 구름을 올리기에 충분합니다. 이 증발된 물질은 이제 진공이 다른 원자와 반응하거나 산란하지 않고 이동할 수 있는 증기 흐름을 구성합니다. 챔버를 가로질러 기판에 부딪혀 코팅이나 박막으로 달라붙습니다.

열 증발 동안 소스 재료를 가열하는 두 가지 주요 방법이 있습니다. 하나는 간단한 전기 가열 요소 또는 필라멘트로 이루어지기 때문에 필라멘트 증발로 알려져 있습니다. 다른 일반적인 열원은 전자빔 또는 E-빔 증발입니다. 여기서 전자빔은 소스 물질을 조준하여 증발시키고 기체 상으로 들어갑니다.

박막 증발 시스템은 상대적으로 높은 증착 속도, 실시간 속도 및 두께 제어 및 (적절한 물리적 구성으로) 직접 패턴 코팅을 달성하기 위한 리프트 오프와 같은 공정에 대한 우수한 증발 스트림 방향 제어의 이점을 제공할 수 있습니다.

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