PVD 코팅 기계 시계

이온 코팅 기계는 주로 진공 증발 코팅 기계, 진공 다중 아크 이온 코팅 기계, 진공 중간 주파수 마그네트론 스퍼터링 코팅 기계, 다기능 중간 주파수 마그네트론을 포함한 많은 유형을 포함하여 고진공에서 수행해야하는 코팅 유형을 말합니다. 스퍼터링 다중 아크 복합 이온 코팅 기계, 진공 광학 (전자빔 증발) 코팅 기계 및 기타 일련의 진공 코팅 장비, 주요 아이디어는 증발 및 스퍼터링의 두 가지 유형으로 나뉩니다.

이온 스퍼터링 코팅은 대부분 반응성 가스의 존재하에 수행되며, 화합물 증착 필름의 안정성 및 광학 상수는 가스 및 양극 재료의 유형에 따라 다릅니다. 일반적으로 사용되는 반응성 가스는 산소이며 일반적으로 사용되는 음극 재료는 철, 니켈, 구리, 납 등이며 때로는 전기 금속 금, 백금, 팔라듐, 인듐 및 기타 금속입니다. 반응성 스퍼터링에 의해 형성되는 산화물은 흡수성이 있지만 굴절률이 그리 높지 않은 코팅 물질이다.

스퍼터 코팅 작업은 스퍼터 코팅 장비와 밀접한 관련이 있습니다. 현재 시판되고 있는 잘 정제된 장치가 현미경 아래의 스테이지 위치에 장착되어 있습니다. 스퍼터링 코팅 시, 연마된 시료를 패턴 헤드에 놓고 전자총(음극)이 향하는 위치로 기울이고 스퍼터링 챔버의 기압을 조정하고 글로 방전, 캐소드 스퍼터링 및 반응성 스퍼터링 증착을 수행합니다. 일정 시간 후 스퍼터링을 중단하고 스퍼터링에 의해 증착된 시료의 표면을 대물렌즈를 향한 위치로 되돌리고 시료 표면의 색상을 관찰하여 증착된 필름의 두께를 평가합니다. 원하는 색상이 되면 코팅 작업을 멈춥니다.

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