
플라스틱 금은색 코팅기
스퍼터링 코팅은 진공 환경에서 전기장의 작용하에 글로우 방전에 의해 생성된 양이온이 음극 타겟 물질의 표면에 고속으로 충격을 가하여 원자 또는 분자를 스퍼터링하고 표면에 박막을 증착시키는 코팅 방법의 일종입니다. 기판의.
스퍼터링 코팅은 글로우 방전에 의해 생성된 양이온이 진공 환경에서 전기장의 작용하에 고속으로 음극 타겟 물질의 표면에 충격을 가하여 원자 또는 분자를 스퍼터링하고 표면에 박막을 증착시키는 코팅 방법의 일종입니다. 기판. 스퍼터링의 원리는 먼저 불활성 가스(보통 Ar 가스)가 방전되어 하전된 Ar 이온과 전자를 생성하도록 하는 것입니다. 그런 다음 전자가 기판으로 날아가 과정에서 아르곤 원자와 지속적으로 충돌하여 더 많은 Ar 이온과 전자를 생성하고 하전 된 이온은 전기장에 의해 가속되어 대상 물질의 표면에 부딪혀 대상 물질의 원자가 충돌하고 날아가 2차 전자가 동시에 생성된 다음 가스 원자를 때려 더 많은 하전 입자를 형성합니다. 타겟 원자는 증착을 위해 기판 표면에 도달하기에 충분한 에너지를 전달합니다.
스퍼터링 코팅의 장점은 다음과 같습니다. 모든 물질, 특히 높은 융점, 낮은 가스 압력 요소 화합물을 스퍼터링할 수 있습니다. 필름과 기판 사이의 우수한 접착력, 높은 코팅 밀도, 적은 핀홀; 방전 전류와 목표 전류를 제어함으로써 막두께를 제어할 수 있어 스퍼터 코팅 공정을 제어하기 쉽고 반복성이 우수하기 때문입니다.
스퍼터링 코팅의 단점: 장비가 더 복잡하고 고전압 장비가 필요하며 가격이 비쌉니다.


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