현대 진공 코팅 기계의 필름 두께의 측정 및 모니터링 방법

가장 직접적인 코팅 제어 방법은 증발원을 직접 구동하고 PID 제어를 통해 배플을 순환시켜 증발 속도를 유지할 수있는 Quartz Crystal Microbalance Method (QCM)입니다. 계측기가 시스템 제어 소프트웨어에 연결되어 있으면 전체 코팅 프로세스를 제어 할 수 있습니다. 그러나 (QCM)의 정확도는 제한적인데, 부분적으로는 광학 두께보다는 증착되는 코팅의 품질을 모니터링하기 때문이다.

또한 QCM은 저온에서 매우 안정적이지만 더 높은 온도에서는 매우 온도에 민감해집니다. 장시간 가열하는 동안 센서가 이 민감한 영역으로 떨어지는 것을 방지하기가 어려우므로 필름에 심각한 오류가 발생합니다.

광학 모니터링은 층 두께를보다 정밀하게 제어 할 수 있기 때문에 고정밀 코팅에 대한 모니터링의 선호되는 방법입니다 (적절하게 사용되는 경우). 정확도의 향상은 많은 요인에서 비롯되지만 가장 근본적인 이유는 광학 두께의 모니터링입니다.

OPTIMAL SWA-I-05 단일 파장 광학 모니터링 시스템은 왕 박사가 개발 한 고급 광학 모니터링 소프트웨어와 결합 된 간접 측정 및 제어를 채택하여 필름 두께 변화에 대한 광 반응 감도의 이론 및 방법을 효과적으로 개선하여 궁극적 인 오류를 줄이고 모드의 피드백 또는 전송 선택 및 광범위한 모니터링 파장을 제공합니다. 불규칙한 필름 모니터링을 포함한 다양한 필름 두께의 코팅 모니터링에 특히 적합합니다.